Sistem vakum semikonduktor adalah salah satu peralatan utama yang digunakan untuk memproduksi perangkat semikonduktor. Ini adalah sistem tertutup dalam lingkungan yang sangat bersih dan bertekanan rendah untuk menangani dan memproses bahan dan perangkat semikonduktor.
Dalam sistem vakum semikonduktor, segel karet berkinerja tinggi sering digunakan karena persyaratan kebersihan yang tinggi dan tingkat kebocoran yang rendah. Berikut beberapa jenis segel karet yang umum:
Segel Viton (FPM): Viton adalah fluoroelastomer tahan bahan kimia dan suhu tinggi yang banyak digunakan dalam sistem vakum. Ini memiliki ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan terhadap korosi dan permeabilitas gas yang rendah, sehingga cocok untuk persyaratan penyegelan yang tahan terhadap lingkungan vakum dan suhu tinggi.
Segel Nitril (NBR): Nitril adalah karet sintetis serba guna dengan ketahanan oli dan abrasi yang baik. Dalam sistem vakum semikonduktor, segel Nitril terutama digunakan dalam beberapa aplikasi non-korosif bersuhu tinggi, seperti vakum rendah dan sambungan pipa gas.
Segel silikon (VMQ): Silikon adalah karet silikon tahan suhu tinggi dengan elastisitas dan ketahanan panas yang baik. Ini sering digunakan dalam sistem vakum semikonduktor untuk menahan persyaratan penyegelan di lingkungan bersuhu tinggi, seperti perlakuan panas, anil, dan pembersihan uap suhu tinggi.
Segel EPDM: EPDM adalah karet etilen propilena dengan ketahanan oksidasi yang baik, tahan asam dan alkali. Dalam sistem vakum semikonduktor, segel EPDM sering digunakan dalam aplikasi non-korosif bersuhu tinggi seperti vakum rendah dan pipa transmisi gas.
Segel karet ini memiliki karakteristik dan rentang aplikasi yang berbeda. Saat memilih segel yang sesuai, faktor-faktor seperti kondisi kerja sistem, kisaran suhu, sifat media, dan persyaratan tekanan harus dipertimbangkan. Selain itu, untuk memastikan kinerja penyegelan, proses pembuatan dan pemasangan segel juga harus mengikuti persyaratan proses yang ketat.
Dalam sistem vakum semikonduktor, selain segel karet, gasket karet sering digunakan untuk mencapai penyegelan yang efektif. Berikut beberapa jenis segel karet yang umum:
Gasket O-ring: O-ring adalah gasket karet dengan penampang melingkar dan banyak digunakan dalam sistem vakum semikonduktor. Ini memiliki kinerja penyegelan yang baik dan kemampuan deformasi kompresi, dan dapat beradaptasi dengan persyaratan penyegelan yang berbeda, seperti sambungan pipa, katup, sambungan, dll.
Segel datar: Segel datar adalah segel karet datar yang biasa digunakan untuk sambungan flensa dalam sistem vakum semikonduktor. Ini mencapai penyegelan melalui kontak dengan permukaan flensa dan biasanya terbuat dari bahan karet tahan bahan kimia suhu tinggi seperti Viton atau Silikon.
Gasket berbentuk U: Gasket berbentuk U adalah paking karet berpenampang U yang cocok untuk kebutuhan penyegelan khusus dalam sistem vakum semikonduktor. Ini sering digunakan untuk menyegel pendorong, batang piston, silinder dan komponen lainnya, dan memiliki kinerja penyegelan yang baik dan ketahanan terhadap deformasi kompresi.
Gasket berbentuk V: Gasket berbentuk V adalah paking karet berpenampang V berbentuk V yang biasa digunakan untuk katup dan segel poros berputar pada sistem vakum semikonduktor. Ini mencapai penyegelan yang efektif melalui kontak dengan permukaan penyegelan, dan memiliki penyegelan dan ketahanan aus yang baik.
Pemilihan segel karet ini ditentukan berdasarkan persyaratan penyegelan tertentu, kondisi kerja dan sifat media. Pada saat yang sama, pemilihan material paking juga sangat penting. Bahan yang umum digunakan antara lain Viton, Nitril, Silikon, dll. Pemilihan spesifik harus mempertimbangkan faktor-faktor seperti kisaran suhu, ketahanan korosi kimia, dan tingkat kebocoran gas. Saat memasang paking, perhatian harus diberikan untuk menjaga permukaan penyegelan tetap bersih dan memastikan bahwa paking dipasang dan ditekan dengan benar untuk mendapatkan efek penyegelan yang baik.
Tag populer: segel sistem vakum semikonduktor, produsen, pemasok, pabrik segel sistem vakum semikonduktor Cina
