Karet perfluoroeter (FFKM)adalah bahan penyegel yang sangat baik. Karena kinerjanya yang unggul, ia telah digunakan secara luas di seluruh sistem manufaktur semikonduktor. Salah satu bahan habis pakai utama yang diperlukan untuk produksi sirkuit terpadu adalah cincin penyegel perfluoroether.
Monomer utama dalam karet perfluoroeter adalah tetrafluoroetilen dan perfluoroalkil vinil eter, yang dikopolimerisasi dengan sejumlah kecil monomer ketiga dengan titik vulkanisasi. Ini adalah karet yang tidak mengandung ikatan CH sama sekali. Kandungan fluor dalam struktur molekulnya, struktur dan kandungan vinil eter perfluorinasi, serta energi ikatan dan kuantitas ikatan silang dalam proses vulkanisasi semuanya mempengaruhi kinerja senyawa vulkanisasi dan suhu transisi gelas. Struktur dan komponennya berbeda, begitu pula kinerjanya. Berikut ini adalah karakteristik kinerja utama karet perfluoroether:
1) Sifat fisik: Kepadatannya adalah 1.9-2.0g/cm3, sifat fisik dan mekaniknya mirip dengan fluororubber, dan set kompresi suhu tinggi lebih unggul daripada fluororubber.
2) Ketahanan terhadap bahan kimia: Tahan terhadap bahan kimia.
3) Ketahanan terhadap suhu tinggi dan rendah: suhu pengoperasian biasanya 260290 derajat, tetapi dapat digunakan sesekali pada 316 derajat. Tg (suhu transisi kaca) beberapa karet perfluoroeter adalah -19 derajat .
4) Ketahanan terhadap uap suhu tinggi.
5) Curah hujan dan pelepasan yang rendah.
6) Resistensi terhadap plasma.
Ia memiliki karakteristik produk dengan kebersihan tinggi dan curah hujan rendah di lingkungan plasma, dan dapat menahan dampak plasma untuk waktu yang lama.Keandalan gasket elastomer sangat penting dalam pembuatan semikonduktor, dan biaya penghentian produksi untuk mengganti gasket sangatlah tinggi. Persyaratan kebersihan dan kemurnian segel sangat ketat untuk menghindari potensi risiko. Pada saat yang sama, segel harus dapat bekerja untuk jangka waktu yang lama di bawah tekanan vakum tinggi, gas kimia korosif, dan lingkungan bersuhu tinggi.
Bahan baku karet perfluoroether mahal dan biasa digunakan dalam pembuatan semikonduktor. Ini tahan terhadap korosi plasma, korosi gas, korosi asam dan alkali, korosi suhu tinggi, persyaratan kebersihan yang tinggi untuk segel karet, membantu menjaga integritas segel, mengurangi waktu perawatan dan meningkatkan keselamatan, dan merupakan segel terbaik untuk manufaktur semikonduktor Bahan.